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一、定位與核心原理（熱式 + 壓力補償，非壓差式）
定位：壓力補償型熱式 MFC，集成壓力傳感器 + 熱式流量傳感器 + 壓電閥 + 32 位數字 CPU，實現壓力不敏感（PI），省去上游 UR?Z700 穩壓閥，簡化氣路。
工作原理
流量檢測：氣體分流，主路直通，旁路熱毛細管傳感器測溫差，輸出熱式質量流量信號；
壓力 / 溫度采集：內置絕壓傳感器（入口）+ 溫度傳感器，實時測 P、T；
數字補償：CPU 按三維溫壓標定模型實時修正熱式信號，抵消壓力波動影響；
閉環控制：驅動高速壓電陶瓷閥（同 D500/UR?Z700），2ms 刷新，450ms 穩定（T98）。
核心差異：傳統熱式 MFC 壓力波動誤差 ±5%–±10%；Z700S±0.5% 以內 ，接近 D500 壓差式水平。
二、關鍵參數（Z707S 為代表，2025 新款）
流量范圍：0.1–500 slm（N?當量），多量程軟件切換。
精度：
5%–100% FS：±1% SP（設定值）；
0.5%–5% FS：±0.05% FS。
重復精度：≤±0.15% SP。
動態范圍：0.5%–100% FS（200:1）。
響應時間：300ms–1s 可調（T98），標準450ms±30ms。
壓力規格：入口0.1–1 MPa（絕壓），抗上下游壓力波動 ±10%，流量誤差 <±0.5%。
通信：EtherCAT（主流）/DeviceNet/ 模擬（0–5V/4–20mA）+RS485。
材質：SUS316L 全金屬 + 金屬隔膜，超潔凈（拋光 Ra≤0.4μm），兼容Cl?、HF、NH?等腐蝕 / 高純氣體。
溫度：5–60℃，寬溫穩定。
泄漏率：<0.1% FS，低死體積，吹掃快。
三、核心優勢（對比傳統熱式、D500、UR?Z700 + 熱式）
壓力不敏感，省去穩壓閥：內置壓力補償，無需 UR?Z700 或機械減壓閥，氣路簡化、降成本、減泄漏點。
熱式 + 補償，兼顧精度與成本：精度接近 D500 壓差式（±1% SP）
小流量超精準：0.5%–5% FS 達 ±0.05% FS，優于多數壓差式 MFC，適合ALD、微量摻雜。
高速可調響應：300ms–1s 軟件可調，適配 快速切換（刻蝕）/ 慢速穩定（CVD）制程。
超潔凈 + 低殘留：全金屬無彈性體，死體積小、吹掃快、殘留少，適配半導體高純 / 腐蝕氣體。
多氣體 / 多量程：內置100 + 氣體庫，現場切換氣體 / 量程，無需換硬件。
四、典型型號
SEC?Z707S：主力型號，EtherCAT + 可調響應，流量10–500 slm，半導體主流。
SEC?Z705S：小流量版，0.1–10 slm，適合 ALD / 微量工藝。
SEC?Z704S：DeviceNet 通信，老設備兼容。
